[实用新型]一种固晶机筛盘固晶横移机构有效
申请号: | 201821316559.5 | 申请日: | 2018-08-15 |
公开(公告)号: | CN208655688U | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 陈永胜;张晓飞 | 申请(专利权)人: | 奥特马(无锡)电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L21/67 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 梁永昌 |
地址: | 214101 江苏省无锡市锡山经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种固晶机筛盘固晶横移机构,包括固晶机,所述固晶机左右两侧的表面固定连接有X向横移模组,所述X向横移模组的右侧固定连接有X向伺服马达,所述固晶机上下两侧的表面固定连接有Y向横移模组,所述Y向横移模组的右侧固定连接有Y向伺服马达,所述固晶机的底部固定连接有工作台,本实用新型涉及固晶机技术领域。该固晶机筛盘固晶横移机构,通过配置XY向横移模组,然后均采用伺服马达控制,运行中可根据需要到达工作区域的任何位置,将筛盘放到工作台面后,侧面固定气缸会将筛盘夹紧定位,将筛盘底部开设真空孔,放置芯片后,芯片即被真空吸住,不仅共用性好,芯片稳定,而且操作简单方便,节约能源。 | ||
搜索关键词: | 固晶机 筛盘 横移 模组 固晶 横移机构 伺服马达 本实用新型 表面固定 芯片 侧面固定 工作区域 工作台面 夹紧定位 任何位置 左右两侧 共用性 真空孔 工作台 气缸 吸住 节约 能源 配置 | ||
【主权项】:
1.一种固晶机筛盘固晶横移机构,包括固晶机(1),其特征在于:所述固晶机(1)的右侧固定连接有X向横移模组(2),所述X向横移模组(2)的右侧固定连接有X向伺服马达(3),所述固晶机(1)顶部的左侧固定连接有Y向横移模组(4),所述Y向横移模组(4)的顶部固定连接有Y向伺服马达(5),所述固晶机(1)的底部固定连接有工作台(6),所述工作台(6)的底部活动连接有筛盘(7),所述工作台(6)的侧面固定连接有固定气缸(8)。
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