[实用新型]一种倒片机硅片防撞装置有效
申请号: | 201821324397.X | 申请日: | 2018-08-16 |
公开(公告)号: | CN208507645U | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 李雪锋;吴建忠;何海斌;肖兵;唐幽 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(成都)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 杨保刚;邓芸 |
地址: | 610299 四川省成都市双流*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种倒片机硅片防撞装置,涉及硅片生产设备技术领域,解决了现有倒片机为了使硅片能够完全进入篮具,采用增大硅片输送动能的方式,导致硅片会与篮具后端内壁撞击,从而使硅片产生崩边、隐裂、缺角等损坏的问题,本实用新型包括放置有篮具的机架,篮具一侧的机架上安装有L形的防撞基座,防撞基座包括互相垂直连接的水平固定块与竖直固定块,水平固定块安装在机架上,竖直固定块上部设置有气缸,竖直固定块上开设有供气缸的伸缩杆穿过的矩形通孔,气缸的伸缩杆末端连接有与篮具对应的防撞块,防撞块采用软性缓冲材料制作。 | ||
搜索关键词: | 硅片 篮具 竖直固定 倒片机 本实用新型 水平固定块 防撞装置 防撞块 防撞 气缸 软性缓冲材料 伸缩杆末端 硅片输送 后端内壁 互相垂直 矩形通孔 生产设备 伸缩杆 动能 崩边 缺角 隐裂 供气 穿过 制作 | ||
【主权项】:
1.一种倒片机硅片防撞装置,包括放置有篮具(9)的机架(12),其特征在于:篮具(9)一侧的机架(12)上安装有L形的防撞基座(5),防撞基座(5)包括互相垂直连接的水平固定块(5.2)与竖直固定块(5.1),水平固定块(5.2)安装在机架(12)上,竖直固定块(5.1)上部设置有气缸(8),竖直固定块(5.1)上开设有供气缸(8)的伸缩杆穿过的矩形通孔(1),气缸(8)的伸缩杆末端连接有可伸入伸出篮具(9)的防撞块(4),防撞块(4)采用软性缓冲材料制作。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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