[实用新型]一种光栅尺标定装置有效
| 申请号： | 201821328982.7 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN209485272U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 张文涛;杜浩;熊显名;朱保华;张玉婷;徐韶华 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 石燕妮 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光栅尺标定装置，包括运动台和测量装置，运动台处于封闭的微环境区域内，测量装置设置于运动台上；测量装置包括承载台；承载台上设置有4个读头，每个读头分别处于一四边形的顶点处；在每个读头的上方设置有一平面光栅；承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜，由第二平面延伸形成第四反射镜，承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜；测量装置还包括第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置，第一干涉仪与第一反射镜同侧设置；测量装置还包括两第三反射镜，第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 反射镜 测量装置 承载台 读头 标定装置 同侧设置 光栅尺 运动台 本实用新型 反射镜反射 平面光栅 平面延伸 外侧设置 侧面 顶点处 微环境 承载 封闭 | ||
【主权项】：
1.一种光栅尺标定装置，其特征在于，该标定装置包括运动台(7)和测量装置，所述运动台处于封闭的微环境区域(10)内，所述测量装置设置于运动台上，随运动台而运动；所述测量装置包括具有第一平面和第二平面的承载台(907)，所述第一平面与第二平面相互平行；在所述第一平面上设置有4个读头，每个所述读头分别处于一四边形的顶点处；在每个所述读头的上方设置有一平面光栅(908)；所述承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜(905)，所述第二反射镜设置于该第二反射镜所在侧面的上区域，由所述上区域边沿向所述第二平面延伸形成第四反射镜(906)，所述第四反射镜与所述第二反射镜的夹角大于90°；所述承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜(913)；所述测量装置还包括第一干涉仪(901)、第二干涉仪(903)和第三干涉仪(902)，所述第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置，所述第一干涉仪与第一反射镜同侧设置；所述测量装置还包括两第三反射镜，第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜；靠近第二干涉仪的两平面光栅的连线与两所述第三反射镜的连线相互垂直；靠近第二干涉仪的两平面光栅的连线为两所述第三反射镜的连线的垂直平分线。
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