[实用新型]基板研磨装置有效
| 申请号： | 201821330473.8 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN208913852U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 崔东圭;林钟逸;赵珳技 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开一种基板研磨装置。根据一个实施例的基板研磨装置包括：基板支撑单元，其支撑基板；以及研磨单元，其研磨所述基板，在所述基板的研磨过程中，所述基板支撑单元或研磨单元可以进行移动，以便使得所述基板的研磨部位发生变化。 | ||
| 搜索关键词： | 基板研磨装置 研磨 基板 基板支撑单元 研磨单元 支撑基板 移动 | ||
【主权项】：
1.一种基板研磨装置，其包括，基板支撑单元，其支撑基板；以及研磨单元，其研磨所述基板，在所述基板的研磨过程中，所述基板支撑单元或研磨单元进行移动，以便使得所述基板的研磨部位发生变化。
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