[实用新型]一种简易激光刻字测量工具有效
| 申请号： | 201821332200.7 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN208872192U | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 曹泽域;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾兰芳 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工技术领域。一种简易激光刻字测量工具，包括一用于支撑硅片的支撑板以及亚克力制成的测量尺，测量尺与支撑板上下设置；支撑板的横截面面积小于测量尺的横截面面积；测量尺是一与硅片的外轮廓相匹配的圆形片，圆形片的径向外围开设有两个V形槽，且两个V形槽的间隔角度为90°；测量尺的外圆周上均匀分布有用于测量角度的刻度线，测量尺上还设有两个相互垂直的刻度线，两个相互垂直的刻度线的交点处于圆形片的中心轴线上；还包括至少一个限位块，所有的限位块均与支撑板的径向外围相连，且所有的限位块还与测量尺的径向外围相连。本专利通过测量尺上设有刻度线，便于通过俯视，即可实现对硅片上的刻字字符通过刻度线进行参数测量。 | ||
| 搜索关键词： | 测量尺 刻度线 支撑板 限位块 圆形片 刻字 硅片 简易激光 测量 外围 垂直的 半导体加工技术 本实用新型 参数测量 上下设置 中心轴线 外轮廓 外圆周 亚克力 俯视 匹配 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种简易激光刻字测量工具，其特征在于，包括一用于支撑硅片的支撑板以及亚克力制成的测量尺，所述测量尺与所述支撑板上下设置；所述支撑板的横截面面积小于所述测量尺的横截面面积；所述测量尺是一与硅片的外轮廓相匹配的圆形片，所述圆形片的径向外围开设有两个V形槽，且两个V形槽的间隔角度为90°；所述测量尺的外圆周上均匀分布有用于测量角度的刻度线，所述测量尺上还设有两个相互垂直的刻度线，两个相互垂直的刻度线的交点处于圆形片的中心轴线上；还包括至少一个限位块，所有的限位块均与所述支撑板的径向外围相连，且所有的限位块还与测量尺的径向外围相连，所述限位块靠近支撑板的侧面为用于接触硅片侧的接触面。
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