[实用新型]一种四氟化硅的纯化系统有效
| 申请号： | 201821350154.3 | 申请日： | 2018-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN208856914U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 吴杰;廖恒易;曹小林 | 申请（专利权）人： | 江西华特电子化学品有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 刘羽波;资凯亮 |
| 地址： | 332000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种四氟化硅的纯化系统，包括原料瓶组、冷凝器、第一吸附器、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、产品罐、膜压机、第二吸附器和产品瓶组；原料瓶组的输出端连接于冷凝器的输入端；冷却器的输出端连接于第一吸附器的输入端；第一吸附器的输出端连接于脱轻精馏塔的输入端；脱轻精馏塔的输出端连接于脱重精馏塔的输入端；脱重精馏塔的输出端连接于产品罐输入端；产品罐的输出端连接于膜压机的输入端；第二吸附器连接于膜压机；膜压机的输出端连接于产品瓶组的输入端。本实用新型根据上述内容提出一种四氟化硅的纯化系统，能够有效地纯化四氟化硅。 | ||
| 搜索关键词： | 输出端连接 输入端 吸附器 四氟化硅 膜压机 脱重精馏塔 纯化系统 产品罐 精馏塔 脱轻 产品瓶 冷凝器 原料瓶 本实用新型 冷却器 有效地 | ||
【主权项】：
1.一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：包括原料瓶组、冷凝器、第一吸附器、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、产品罐、膜压机、第二吸附器和产品瓶组；所述原料瓶组的输出端连接于所述冷凝器的输入端；所述冷凝器的输出端连接于所述第一吸附器的输入端；所述第一吸附器的输出端连接于所述脱轻精馏塔的输入端；所述脱轻精馏塔的输出端连接于所述脱重精馏塔的输入端；所述脱重精馏塔的输出端连接于所述产品罐输入端；所述产品罐的输出端连接于所述膜压机的输入端；所述第二吸附器连接于所述膜压机；所述膜压机的输出端连接于所述产品瓶组的输入端。
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