[实用新型]一种锗烷的充装配气系统有效
| 申请号： | 201821352391.3 | 申请日： | 2018-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN208652131U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 程紧;廖恒易;吴祥虎 | 申请（专利权）人： | 江西华特电子化学品有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/04 | 分类号： | F17C7/04;F17C5/06;F17C13/00;F17C13/04 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 刘羽波;资凯亮 |
| 地址： | 332000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种锗烷的充装配气系统，包括进料管、出料管、汽化部、充装阀、配气阀、产品瓶组和载气瓶组；进料管的输出端设有进料阀；汽化部包括低温闪蒸罐、汽化器和增压阀；进料管的输出端连接于低温闪蒸罐的输入端，低温闪蒸罐的输出端连接于汽化器的输入端，汽化器的输出端连接于增压阀；出料管的输入端连接于低温闪蒸罐，出料管的输出端设有出料阀，出料管的输出端连接于产品瓶组的输入端；载气瓶组的输出端连接于产品瓶组的输入端；充装阀设于出料管，充装阀位于出料阀的输出端；配气阀设于载气瓶组的输出端。本实用新型的目的在于提出一种锗烷的充装配气系统，其能够安全高效地对锗烷进行充装配气。 | ||
| 搜索关键词： | 输出端连接 出料管 闪蒸罐 输出端 输入端 锗烷 装配 产品瓶 充装阀 进料管 气系统 汽化器 载气瓶 汽化 出料阀 配气阀 增压阀 本实用新型 输入端连接 进料阀 安全 | ||
【主权项】：
1.一种锗烷的充装配气系统，其特征在于:包括进料管、出料管、汽化部、充装阀、配气阀、产品瓶组和载气瓶组；所述进料管的输出端设有进料阀；所述汽化部包括低温闪蒸罐、汽化器和增压阀；所述进料管的输出端连接于所述低温闪蒸罐的输入端，所述低温闪蒸罐的输出端连接于所述汽化器的输入端，所述汽化器的输出端连接于所述增压阀；所述出料管的输入端连接于所述低温闪蒸罐，所述出料管的输出端设有出料阀，所述出料管的输出端连接于产品瓶组的输入端；所述载气瓶组的输出端连接于所述产品瓶组的输入端；所述充装阀设于所述出料管，所述充装阀位于所述出料阀的输出端；所述配气阀设于所述载气瓶组的输出端。
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