[实用新型]一种六工位排气台设备有效
| 申请号： | 201821359180.2 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN208690200U | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王炳;唐天权;颜加润 | 申请（专利权）人： | 爱克斯瑞真空技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 赵晓芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区越溪街*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到一种六工位排气台设备，包括主机架，所述主机架上设置有工作台，所述工作台上对应设置有六组加工位；所述主机架上与加工位对应的位置处设置有分子泵以及与分子泵连接的机械泵，所述加工位与分子泵之间设置有真空阀门。本实用新型属于一种六工位排气台设备，其包括分子泵，机械泵，烘箱等上述部件都集成安装在机架上面，烘箱温度显示电控系统时时监控真空度，真空显示系统监控，相互配合设计，实现了高真空排气，独特的六工位排气设计，充分利用了设备空间资源，提高了工作效率，结构紧凑，密封性能好，低能耗，性能稳定，操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 分子泵 六工位 加工位 排气台 主机架 烘箱 本实用新型 机械泵 排气 电控系统 工作效率 集成安装 监控真空 密封性能 设备空间 温度显示 系统监控 真空阀门 真空显示 低能耗 高真空 位置处 工作台 配合 | ||
【主权项】：
1.一种六工位排气台设备，包括主机架(1)，其特征在于：所述主机架(1)上设置有工作台(2)，所述工作台(2)上对应设置有六组加工位(21)；所述主机架(1)上与加工位(21)对应的位置处设置有分子泵(22)以及与分子泵(22)连接的机械泵(23)，所述加工位(21)与分子泵(22)之间设置有真空阀门(24)。
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