[实用新型]一种全自动探针检测台及其高精度探针定位模组有效
| 申请号： | 201821360518.6 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN209182371U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 韦日文;雷迪;林生财 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种全自动探针检测台及其高精度探针定位模组，所述高精度探针定位模组包括探针检测盒，所述探针检测盒上设置有高倍光源检测模块、低倍光源检测模块、CCD图像传感器、和光路切换模块，所述光路切换模块包括光路切换机构，所述光路切换机构包括转动连接在探针检测盒内的切换连杆，驱动切换连杆转动的切换气缸以及被驱动连杆带动的遮挡板，所述遮挡板移动过程中分别对高倍光源模块和低倍光源模块进行遮挡，通过上述设置，使用时先利用低倍光源检测模块进行检测，当CCD图像传感器检测到探针卡位置后，控制切换气缸动作，带动遮挡板进行移动，切换至高倍光源检测模块，对探针位置进行精确定位，控制方便，检测效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 探针检测 高倍光源 探针定位 遮挡板 模组 光路切换机构 光路切换模块 光源检测模块 检测模块 检测 本实用新型 光源模块 控制方便 控制切换 连杆转动 气缸动作 驱动连杆 探针位置 移动过程 转动连接 探针卡 气缸 遮挡 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.一种高精度探针定位模组，包括探针检测盒(26)，所述探针检测盒(26)上设置有：高倍光源检测模块(21)，用于识别探针的精确位置坐标；低倍光源检测模块(22)，用于初步识别探针的位置坐标；CCD图像传感器(24)，将采集到图像转化为数字信号；和光路切换模块(23)，将高倍光源检测模块(21)和低倍光源检测模块(22)与CCD图像传感器(24)连接，所述光路切换模块(23)包括光路切换机构，所述光路切换机构包括转动连接在探针检测盒(26)内的切换连杆(234)，驱动切换连杆(234)转动的切换气缸(235)以及被驱动连杆带动的遮挡板(237)，所述遮挡板(237)移动过程中分别对高倍光源模块和低倍光源模块进行遮挡。
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