[实用新型]一种单晶硅片抛光液回收过滤装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅片抛光液回收过滤装置，包括筒体，所述筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒设于筒体的上部，过滤筒与筒体之间设有间隙，过滤筒的顶部固连多孔板，多孔板固连筒体，过滤筒的下方设有过滤网，过滤网固连筒体；筒体的顶部设有顶盖，顶盖的顶部设有电机；主轴为空心轴，中心设有圆柱形空腔，主轴的顶端通过旋转接头连接供气管，主轴贯穿多孔板、过滤筒和过滤网，过滤筒内部的主轴上设有喷气柱，喷气柱套在主轴上并与主轴固连；本实用新型将抛光液经过双重过滤后回收利用，过滤比较彻底，而且通过旋转的喷气柱喷气的同时旋转产生复杂气流，扰动过滤筒内部水流的同时提高过滤效率。

主权项

1.一种单晶硅片抛光液回收过滤装置，包括筒体，其特征在于，所述筒体的内部设有过滤筒和过滤网，过滤筒设于筒体的上部，过滤筒与筒体之间设有间隙，过滤筒的顶部固连多孔板，多孔板固连筒体，过滤筒的下方设有过滤网，过滤网固连筒体；筒体的顶部设有顶盖，顶盖的顶部设有电机，电机的输出轴上设有主动齿轮，该主动齿轮与主轴上的从动齿轮啮合；主轴为空心轴，中心设有圆柱形空腔，主轴的顶端通过旋转接头连接供气管，主轴贯穿多孔板、过滤筒和过滤网，过滤筒内部的主轴上设有喷气柱，喷气柱套在主轴上并与主轴固连，喷气柱上设有数个喷气孔，喷气孔连通主轴中心的圆柱形空腔；顶盖上设有砂浆进口，筒体的底部设有抛光液出口。