[实用新型]一种全自动探针检测台及其移动标靶式探针定位模组有效
| 申请号： | 201821361002.3 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN209182372U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 韦日文;雷迪;林生财 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种移动标靶式探针定位模组，包括探针检测盒，所述探针检测盒上设置有高倍光源检测模块、低倍光源检测模块、CCD图像传感器、光路切换模块和标靶调节模块，所述标靶调节模块包括标靶固定座、滑动连接在标靶固定座上的对位标靶以及驱动对位标靶移动的驱动件，通过上述设置，标靶重量较轻，移动时采用驱动件移动即可，结构简单，并且镜头无需移动，探针检测模块的光路不会发生偏移，保证了光路的准确性，避免由于镜片的偏移造成测量不准的情况，保证了测量结果的准确性，本实用新型还公开了采用移动标靶式探针定位模组的全自动探针检测台。 | ||
| 搜索关键词： | 标靶 探针检测 移动 探针定位 模组 本实用新型 对位标靶 固定座 驱动件 偏移 光路 光路切换模块 光源检测模块 高倍光源 滑动连接 检测模块 镜片 测量 保证 驱动 镜头 | ||
【主权项】：
1.一种移动标靶式探针定位模组，其特征在于，包括探针检测盒(26)，所述探针检测盒(26)上设置有：高倍光源检测模块(21)，用于识别探针的精确位置坐标；低倍光源检测模块(22)，用于初步识别探针的位置坐标；CCD图像传感器(24)，将采集到图像转化为数字全自动探针台信号；光路切换模块(23)，将高倍光源检测模块(21)和低倍光源检测模块(22)与CCD图像传感器(24)连接；和标靶调节模块(25)，用于辅助定位，所述标靶调节模块(25)包括标靶固定座(251)、滑动连接在标靶固定座(251)上的对位标靶(253)以及驱动对位标靶(253)移动的驱动件。
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