[实用新型]一种真空正压测漏装置有效
| 申请号： | 201821368655.4 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN208795431U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 吴强 | 申请（专利权）人： | 托伦斯半导体设备启东有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 226200 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空正压测漏装置，包括一底座支撑组，底座支撑组包括工装主板以及支撑座；一限位组，限位组包括第一限位块、第二限位块，第一限位块的上方设有与工装主板延伸方向一致的连接块，第一限位块内设有通孔，第二限位块的上方设有固定块；一顶紧组，顶紧组包括置于连接块下方的顶紧块，顶紧块包括上下设置的圆形部以及凸起部，由上至下贯穿连接块至顶紧块的圆形部设有一顶紧螺栓，圆形部靠近顶紧螺栓的上端面设有凹槽；一气体接入组，气体接入组包括置于固定块上端面竖向设置的气体通道a以及置于第二限位块靠近测漏工件的端面横向设置的气体通道b。本实用新型具有结构简单、缩短测漏工时、提升工作效率及稳定性的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 限位块 顶紧块 圆形部 本实用新型 测漏装置 底座支撑 顶紧螺栓 气体接入 气体通道 固定块 上端面 限位组 工装 测漏 顶紧 正压 主板 端面横向 方向一致 工作效率 上下设置 竖向设置 凸起部 支撑座 通孔 延伸 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种真空正压测漏装置，其特征在于：测漏工件置于测漏装置的上方，测漏装置包括一底座支撑组，所述底座支撑组包括工装主板以及置于工装主板下方的支撑座；一限位组，所述限位组包括分别置于工装主板上方左右两侧的第一限位块、第二限位块，所述测漏工件置于第一限位块与第二限位块之间，所述第一限位块的上方设有与工装主板延伸方向一致的连接块，所述第一限位块内设有与工装主板延伸方向一致的通孔，所述通孔水平设置，所述第二限位块的上方设有固定块；一顶紧组，所述顶紧组包括置于连接块下方的顶紧块，所述顶紧块包括上下设置的圆形部以及凸起部，由上至下贯穿连接块至顶紧块的圆形部设有一顶紧螺栓，圆形部靠近顶紧螺栓的上端面设有凹槽，同时测漏工件靠近顶紧块的上端面位置具有向内凹陷的槽口，所述凸起部卡合设置在槽口内；一气体接入组，所述气体接入组包括置于固定块上端面竖向设置的气体通道a以及置于第二限位块靠近测漏工件的端面横向设置的气体通道b，所述气体通道a与气体通道b相通设置。
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