[实用新型]一种超纯化学品供应系统有效
| 申请号： | 201821370236.4 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN209052394U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 田素利 | 申请（专利权）人： | 江苏晶睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B67D7/02 | 分类号： | B67D7/02;B67D7/76;B67D7/70 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 高利利 |
| 地址： | 226500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种超纯化学品供应系统，包括一可移动的供应箱，所述供应箱内设置有贮存罐、抽料泵、分离罐、过滤器、排气装置和出料装置，所述出料装置包括至少两个并联设置的出料管，且所述其中至少一出料管上还连通超纯水进水管。本实用新型的优点在于：本实用新型能够同时供应不同纯度的高纯化学品且保证高纯化学品的连续稳定供应。 | ||
| 搜索关键词： | 本实用新型 超纯化学品 高纯化学品 出料装置 供应系统 出料管 过滤器 并联设置 排气装置 稳定供应 超纯水 抽料泵 分离罐 供应箱 进水管 可移动 贮存罐 连通 保证 | ||
【主权项】：
1.一种超纯化学品供应系统，其特征在于：包括一可移动的供应箱，所述供应箱内设置有贮存罐、抽料泵、分离罐、过滤器、排气装置和出料装置；所述贮存罐的顶端设置有一与贮存罐连通的N2进气管，所述贮存罐的顶端还设置有与分离罐连通设置的管道A，且所述抽料泵串联设置在管道A上；所述分离罐的顶端分别设有与分离罐连通的料液出口和气体出口，所述分离罐的料液出口与出料装置之间通过管道B连通，且所述过滤器串联设置在管道B上；所述过滤器至少为两个，且各过滤器并联设置，在靠近分离罐的管道B上通过管道C连通用于控制过滤器的压力控制阀A，在靠近出料装置的管道B还连通管道D，所述管道D的另一端与贮存罐连通设置，且管道D上还串联设置有压力控制阀B；所述出料装置包括至少两个并联设置的出料管，且所述其中至少一出料管上还连通超纯水进水管；所述N2进气管与排气装置之间通过管道E连通设置，所述分离罐的气体出口与排气装置之间通过管道F连通设置。
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