[实用新型]一种能够提高复制平面光栅衍射效率的膜层有效
| 申请号： | 201821385493.5 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN208689197U | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 欧仕明;欧旭良;石矿 | 申请（专利权）人： | 宜兴市晶科光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 李德溅 |
| 地址： | 214211 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够提高复制平面光栅衍射效率的膜层，包括夹在光栅母板（1）和复制基板（7）之间的硅油膜（2）和铝膜（5），其特征在于：所述的硅油膜（2）上覆盖有三氧化二铝厚膜（3），所述的三氧化二铝厚膜（3）上覆盖有氟化镁膜（4），所述的氟化镁膜（4）上覆盖有铝膜（5），所述的铝膜（5）上覆盖三氧化二铝薄膜（6）。本实用新型通过在在光栅母板和复制基板之间设置五个膜层，其中硅油膜的作用是使光栅母板与镀有其它膜层的复制基板顺利分离，且调整不同膜层的厚度，使得复制出来的平面衍射光栅在闪耀波长250nm处一级衍射效率＞70%，且一年内250nm处一级衍射效率无明显下降，衍射效率稳定性大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 膜层 复制基板 光栅母板 衍射效率 硅油膜 铝膜 一级衍射效率 本实用新型 三氧化二铝 氟化镁膜 平面光栅 覆盖 复制 厚膜 三氧化二铝薄膜 平面衍射光栅 波长 闪耀 | ||
【主权项】：
1.一种能够提高复制平面光栅衍射效率的膜层，包括夹在光栅母板（1）和复制基板（7）之间的硅油膜（2）和铝膜（5），其特征在于：所述的硅油膜（2）上覆盖有三氧化二铝厚膜（3），所述的三氧化二铝厚膜（3）上覆盖有氟化镁膜（4），所述的氟化镁膜（4）上覆盖有铝膜（5），所述的铝膜（5）上覆盖三氧化二铝薄膜（6）。
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