[实用新型]坩埚喷涂装置有效

专利信息
申请号: 201821397952.1 申请日: 2018-08-28
公开(公告)号: CN209016691U 公开(公告)日: 2019-06-21
发明(设计)人: 周飞龙;左雪;张中玉;李智渊;冷金标 申请(专利权)人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
主分类号: H02H7/00 分类号: H02H7/00;B05B13/00
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 何世磊
地址: 334100 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型提供了一种坩埚喷涂装置,包括喷涂组件和多个保护组件,每一保护组件均包括下安装板、设于下安装板边缘的多个伸缩杆、套设于每个伸缩杆外的多个回位弹簧、设于伸缩杆上端的上安装板,以及设于上安装板和下安装板之间的行程开关,行程开关一端连接于下安装板,另一端连接于上安装板。上述坩埚喷涂装置,通过喷涂组件对坩埚进行喷涂,将供电电源通过多个保护组件后再与喷涂组件的电源开关连接,当喷涂组件出现异常时,作业人员只需立即站立在任意一个位于喷涂组件周围的保护组件上,因为重力的原因,相应的行程开关断开,导致喷涂组件断电,进而实现在喷涂组件发生异常时快速断电。
搜索关键词: 喷涂组件 保护组件 下安装板 上安装板 行程开关 坩埚喷涂 伸缩杆 一端连接 断电 本实用新型 电源开关 供电电源 回位弹簧 上端 喷涂 断开 坩埚 站立
【主权项】:
1.一种坩埚喷涂装置,包括喷涂组件,其特征在于,所述装置还包括间隔设于所述喷涂组件四周的多个保护组件,每一所述保护组件均包括下安装板、设于所述下安装板边缘的多个伸缩杆、套设于每个所述伸缩杆外的多个回位弹簧、设于所述伸缩杆上端的上安装板,以及设于所述上安装板和所述下安装板之间的行程开关,所述行程开关一端连接于所述下安装板,另一端连接于所述上安装板,多个所述保护组件中所有的所述行程开关依次串联,并与所述喷涂组件的电源开关串联。
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