[实用新型]一种碳纳米电极的薄膜体声波谐振器

摘要

本实用新型公开了一种碳纳米电极的薄膜体声波谐振器，依次包括衬底、隔离层和压电堆层，所述压电堆层包括下电极、压电薄膜、上电极。隔离层用于隔开调节层和压电堆层，支撑薄膜体声波谐振器主体结构，还可以实现声波限制。压电堆层利用压电薄膜材料的压电性产生声波谐振，电极材料外接电源提供压电薄膜材料两端的电压，其中压电薄膜材料采用压电材料，下电极材料采用金属材料，特别的是该器件结构的上电极材料采用碳纳米材料，相比金属电极能够降低质量负载效应，利于实现器件的高频特性，同时具有更高的声阻抗，使得电极与外界零声阻抗空气更加失配，增加声波在电极处的反射。

主权项

1.一种碳纳米电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述谐振器从下至上依次包括衬底（1）、隔离层（2）和压电堆层，所述压电堆层包括下电极（3）、压电薄膜（4）、上电极（6），所述压电薄膜（4）设置在隔离层（2）上，压电薄膜（4）的底面的左端从外至内开设一个凹槽，凹槽不贯穿整个压电薄膜（4），凹槽用于下电极（3）的放置，下电极（3）的右端与压电薄膜（4）的端面齐平，所述上电极（6）设置在压电薄膜（4）的表面，上电极（6）的左端与压电薄膜（4）的端面齐平，所述压电薄膜（4）的上表面的右端从上至下开设一个通孔（5），通孔（5）底部延伸至下电极（3）的上表面，上电极（6）的右端未达到通孔（5）的孔口。