[实用新型]长寿命免维护的紫外激光器

摘要

一种长寿命免维护的紫外激光器，包括：主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台；主光路机构包括泵浦源、聚焦组件、前端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、倍频组件、及尾端镜；激光晶体及调Q晶体设置在前端镜与转折镜之间；倍频组件包括三倍频晶体及二倍频晶体；二倍频晶体及三倍频晶体安装在第一电动位移平台上，第一电动位移平台以平行三倍频晶体输出端端面的方向，带动二倍频晶体及三倍频晶体进行移动。因长期工作而导致通光点损坏，通过第一电动位移平台对倍频组件进行移动，调整激光打在倍频组件上的点位置，从而能提升倍频组件及紫外激光器整体的使用寿命，减少倍频组件的更换处理。

主权项

1.一种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，包括：主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台；所述主光路机构包括泵浦源、聚焦组件、前端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、倍频组件、及尾端镜；所述泵浦源用于发出泵浦光；所述前端镜、所述转折镜及所述尾端镜组成激光谐振腔，所述激光晶体位于所述激光谐振腔内；所述激光晶体及所述调Q晶体设置在所述前端镜与所述转折镜之间；所述倍频组件包括三倍频晶体及二倍频晶体；所述三倍频晶体及所述二倍频晶体设置在所述转折镜与所述尾端镜之间；所述泵浦源发出的泵浦光经所述聚焦组件聚焦整形后，入射到所述激光晶体；泵浦光进入所述激光晶体后，在所述激光谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对所述调Q晶体进行控制与调制，得到在所述前端镜、所述转折镜、及所述尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光；在沿所述转折镜到所述尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过所述三倍频晶体折射后，射入所述二倍频晶体内，1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜的反射，再一次经过所述二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，最后部分532nm绿光和剩余未转化的1064nm脉冲光在所述三倍频晶体内进行和频，产生355nm紫外激光，所述三倍频晶体输出端采用布氏角切割，所述三倍频晶体的输出端将剩余的1064nm激光、532nm激光、355nm激光分开，剩余的1064nm激光沿原路返回，继续在所述激光谐振腔内工作；所述二倍频晶体及所述三倍频晶体安装在所述第一电动位移平台上，当所述倍频组件的通光点受损时，所述第一电动位移平台以平行所述三倍频晶体输出端端面的方向，带动所述二倍频晶体及所述三倍频晶体进行移动。