[实用新型]制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具和装置有效
申请号: | 201821412140.X | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN208787476U | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 张磊;郭校亮;陈良杰;刘勋海 | 申请(专利权)人: | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
主分类号: | B22D11/04 | 分类号: | B22D11/04;B22D11/055;B22D11/14;B22D11/10 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 巩同海 |
地址: | 266237 山东省青岛市即墨市青岛蓝色*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具和装置,属于金属靶材的制备技术领域。所述水冷模具包括中心部分和外围部分,中心部分包括第一水冷盘,外围部分包括第二水冷盘,第二水冷盘设有第一通孔,所述第一通孔的孔径大于第一水冷盘的外径,第一水冷盘放置在第一通孔中,第一水冷盘外径和第一通孔内径之间的空间为储液区;所述外围部分和中心部分均设有冷却水通路。本实用新型适用于旋转靶的制备,可简化旋转靶制备的流程,提高生产效率,提高产品质量。 | ||
搜索关键词: | 水冷盘 通孔 制备 水冷 模具 难熔稀有金属 本实用新型 外围 旋转靶 制备技术领域 冷却水通路 金属靶材 生产效率 储液区 | ||
【主权项】:
1.一种制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具,其特征在于,包括中心部分和外围部分,中心部分包括第一水冷盘(1),外围部分包括第二水冷盘(2),第二水冷盘(2)设有第一通孔,所述第一通孔的孔径大于第一水冷盘(1)的外径,第一水冷盘(1)放置在第一通孔中,第一水冷盘(1)外径和第一通孔内径之间的空间为储液区(3);所述外围部分和中心部分均设有冷却水通路(4)。
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