[实用新型]一种制作石英坩埚用石墨模具有效

专利信息
申请号: 201821413377.X 申请日: 2018-08-30
公开(公告)号: CN209024415U 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 石刚;毛炳全 申请(专利权)人: 浙江美晶新材料有限公司
主分类号: C04B41/87 分类号: C04B41/87;C03B20/00
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江省绍兴市上*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及单晶硅制备领域,旨在提供一种制作石英坩埚用石墨模具。该模具包括顶部敞口呈釜形的模具本体;模具本体包括侧壁、底部以及连接二者的弯曲部;模具本体内壁表面设有SiC陶瓷保护层。本实用新型产品相比于传统的钢模,能够有效的避免Fe元素引入到坩埚本体中,能制作高纯半导体级石英坩埚;相比于传统的石墨模具,本实用新型由于有一层SiC陶瓷保护层,能避免在使用过程中石墨裸露在空气中而被高温氧化损耗,能有效的提高模具的使用寿命。而且由于SiC陶瓷保护层的存在,其内表面粗糙度相比于传统的石墨模具小,更利于石英坩埚的脱模。
搜索关键词: 石墨模具 石英坩埚 本实用新型 陶瓷保护层 传统的 模具 模具本体 制作 单晶硅 表面粗糙度 高纯半导体 体内壁表面 顶部敞口 高温氧化 使用寿命 坩埚本体 石墨 弯曲部 侧壁 釜形 钢模 脱模 制备 裸露 引入
【主权项】:
1.一种制作石英坩埚用石墨模具,包括顶部敞口呈釜形的模具本体;其特征在于,所述模具本体包括侧壁、底部以及连接二者的弯曲部;所述模具本体内壁表面设有SiC陶瓷保护层。
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