[实用新型]一种机床五自由度误差测量装置有效
申请号: | 201821414166.8 | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN208720994U | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 段发阶;张聪;傅骁;刘文正;苏宇浩 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 刘子文 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种机床五自由度误差测量装置,包括固定端和移动端,固定端上设有第一激光器、第二激光器、第三激光器、分光镜、聚焦透镜和位置敏感探测器,移动端上设有第一四象限探测器、第二四象限探测器和平面镜;第一激光器、第二激光器、第三激光器出射光平行,其中第一激光器与第二激光器出射的平行光分别照射在第一四象限探测器与第二四象限探测器,第一四象限探测器与第二四象限探测器均可以测量两个方向的直线度误差,在第一四象限探测器与第二四象限探测器距离的情况下,利用两个四象限探测器测量的直线度误差可以求得滚转角;第三激光器出射的平行光经反射聚焦透镜聚焦在位置敏感探测器上,位置敏感探测器测量俯仰角与偏摆角。 | ||
搜索关键词: | 四象限探测器 激光器 位置敏感探测器 误差测量装置 直线度误差 五自由度 测量 固定端 平行光 移动端 出射 机床 本实用新型 反射聚焦 聚焦透镜 透镜聚焦 出射光 分光镜 俯仰角 滚转角 偏摆角 平面镜 平行 照射 | ||
【主权项】:
1.一种机床五自由度误差测量装置,其特征在于,包括固定端和移动端,所述固定端上设有第一激光器、第二激光器、第三激光器、分光镜、聚焦透镜和位置敏感探测器,移动端上设有第一四象限探测器、第二四象限探测器和平面镜;第一激光器、第二激光器、第三激光器出射光平行,其中第一激光器与第二激光器出射的平行光分别照射在第一四象限探测器与第二四象限探测器,第一四象限探测器与第二四象限探测器均可以测量两个方向的直线度误差,同时,在已知第一四象限探测器与第二四象限探测器距离的情况下,利用两个四象限探测器测量的直线度误差可以求得滚转角;第三激光器出射的平行光照射在平面镜上,反射光经分光镜反射,经聚焦透镜聚焦在位置敏感探测器上,位置敏感探测器用以测量俯仰角与偏摆角。
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