[实用新型]一种单晶硅片检测机器人工作站有效

专利信息
申请号: 201821419520.6 申请日: 2018-08-30
公开(公告)号: CN208713991U 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 张涛川;段春梅;杨伟;李大成;李英杰;邓玮基;何柳彬;黄铠 申请(专利权)人: 佛山职业技术学院
主分类号: B25J9/12 分类号: B25J9/12;B25J15/06
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 王国标
地址: 528000 广东省佛山市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种单晶硅片检测机器人工作站,包括:底座、主体、臂体和吸盘夹具,所述底座上设有转盘,所述主体呈柱状,所述主体固定的安装在所述转盘上,所述主体设有开槽,所述底座上设有丝杆,丝杆穿过所述转盘插入所述开槽中,主体的上部设有第一转动电机,第一转动电机上设有与所述丝杆啮合的第一齿轮,臂体包括前臂和后臂,前臂的前端落入所述开槽内,所述前臂的前端内设有上下贯通的通孔,所述通孔内设有与所述丝杆相配合的螺纹,所述前臂的后端通过水平转轮与所述后臂的前端连接,所述后臂的后端与吸盘夹具连接,所述前臂上设有第二转动电机。通过这样简单的结构可实现对太阳能单晶硅片的搬运功能。该机器人可用于硅片的生产中。
搜索关键词: 前臂 丝杆 转动电机 后臂 开槽 转盘 底座 检测机器人 单晶硅片 吸盘夹具 臂体 通孔 工作站 太阳能单晶硅片 啮合 本实用新型 上下贯通 水平转轮 呈柱状 固定的 齿轮 硅片 螺纹 可用 机器人 搬运 穿过 配合 生产
【主权项】:
1.一种单晶硅片检测机器人工作站,其特征在于,包括:底座、主体、臂体和吸盘夹具,所述底座上设有转盘,所述主体呈柱状,所述主体固定的安装在所述转盘上,所述主体设有开槽,所述底座上设有竖直向上的丝杆,所述丝杆穿过所述转盘插入所述开槽中,所述主体的上部固定连接有第一转动电机,所述第一转动电机的转轴上设有与所述丝杆啮合的第一齿轮,所述开槽内设有用于引导臂体上下移动的导轨,所述臂体包括前臂和后臂,所述前臂的前端落入所述开槽内,所述前臂的前端内设有上下贯通的通孔,所述通孔内设有与所述丝杆相配合的螺纹,所述前臂的后端通过水平转轮与所述后臂的前端连接,所述后臂的后端与吸盘夹具连接,所述前臂上设有第二转动电机,所述第二转动电机用于带动水平转轮水平转动。
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