[实用新型]石墨护板、铸锭设备有效
申请号: | 201821419946.1 | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN208791810U | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 武鹏;赵玉兵;蒋立洋;胡动力 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种石墨护板,用于坩埚与侧加热器之间,石墨护板一侧的表面开设有多个凹槽,凹槽布满石墨护板的表面。上述技术方案至少具有以下技术效果:石墨护板一侧的表面开设有多个凹槽,减少了石墨护板与坩埚的接触面积,减少了高温时石墨护板与坩埚反应生成的一氧化碳气体,减少对硅锭中碳含量的影响,同时,也为坩埚提供了更大的形变空间。本实用新型还提供一种铸锭设备,包括:炉体,炉体内设有隔热笼体,隔热笼体内设有热交换块,热交换块上方设有坩埚,坩埚的外侧设有加热器,坩埚和加热器之间设有由多个如上任一项所述的石墨护板首尾拼接而成的坩埚护板,石墨护板开设凹槽的表面朝向坩埚。 | ||
搜索关键词: | 护板 石墨 坩埚 加热器 本实用新型 表面开设 热交换块 铸锭设备 一氧化碳气体 体内 侧加热器 隔热笼体 技术效果 首尾拼接 形变空间 隔热笼 硅锭 炉体 | ||
【主权项】:
1.一种石墨护板,用于坩埚与侧加热器之间,其特征在于,所述石墨护板一侧的表面开设有多个凹槽,所述凹槽布满所述石墨护板的表面。
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