[实用新型]双工位曝光光源系统有效
| 申请号： | 201821426176.3 | 申请日： | 2018-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN208969426U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 余燕青 | 申请（专利权）人： | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人： | 许彬 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及双工位曝光光源系统，其具有LED聚光光源、蝇眼透镜组、光路变换镜，聚光光源发出固定波长的紫外光，在设计凸透镜的焦点聚集成光斑；蝇眼透镜组用于接收LED聚光光源聚集的光斑并进行光学积分分配，形成均匀多点光源；光路变换镜接收蝇眼透镜组射出的多点光源，通过切换镜子反射角度，实现两个光路方向的交替反射；第一球面反光镜接收光路变换镜朝第一方向反射出来的多点光源并反射积分形成均匀面光源，投射到第一曝光工位上；第二球面反光镜接收光路变换镜朝第二方向反射出来的多点光源并反射积分形成均匀面光源，投射到第二曝光工位上。简化设备结构，提高图形曝光加工精度，同时减少曝光光源占地面积，利于布置实施。 | ||
| 搜索关键词： | 多点光源 反射 蝇眼透镜组 曝光光源 光路变换镜 均匀面光源 球面反光镜 光斑 方向反射 接收光路 曝光工位 变换镜 双工位 投射 凸透镜 简化设备结构 本实用新型 紫外光 固定波长 光源聚集 聚光光源 图形曝光 光路 射出 光源 镜子 焦点 分配 加工 | ||
【主权项】：
1.双工位曝光光源系统，其特征在于：具有LED聚光光源（1），该聚光光源（1）由多个LED灯珠（11）按设计倾向角度围绕中心均匀排列分布，工作时发出固定波长的紫外光，在设计凸透镜的焦点聚集成光斑；蝇眼透镜组（2），该蝇眼透镜组（2）用于接收LED聚光光源（1）聚集的光斑并进行光学积分分配，形成均匀多点光源；光路变换镜（3），接收蝇眼透镜组（2）射出的多点光源，通过切换镜子反射角度，实现两个光路方向的交替反射；第一球面反光镜（4），接收光路变换镜（3）朝第一方向反射出来的多点光源，经过第一球面反光镜（4）反射积分形成均匀面光源，投射到第一曝光工位（5）上；第二球面反光镜（6），接收光路变换镜（3）朝第二方向反射出来的多点光源，经过第二球面反光镜（6）反射积分形成均匀面光源，投射到第二曝光工位（7）上。
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