[实用新型]光罩清洗治具有效
| 申请号： | 201821445869.7 | 申请日： | 2018-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN208891816U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟;黄国勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | A46B13/02 | 分类号： | A46B13/02;B08B1/04 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光罩清洗治具，包括中空且两端开口的轴套、借助于轴承固定安装于轴套内且两端分别自轴套两端的开口伸出的芯轴、固定于芯轴的自轴套的底端开口伸出的一端上的刷具，芯轴的自轴套顶端开口伸出的一端与驱动芯轴旋转的旋转动力机构传动连接。本实用新型实施例通过芯轴一端和旋转动力机构连接另一端固定刷具，旋转动力机构启动带动芯轴旋转进而驱动刷具转动，清洗人员可手持治具使刷具在光罩上来回移动，刷具在旋转动力机构带动下旋转，能迅速刷洗掉光罩表面杂质，减少水和人员劳动力的消耗及清洗剂对人体危害，而且通过刷具刷洗光罩的表面干净，不局限于光罩的尺寸，避免了人工清洗的低效和机器清洗的损耗，有效降低了清洗的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩 芯轴 旋转动力机构 刷具 轴套 本实用新型 清洗治具 伸出 清洗 清洗剂 开口 传动连接 底端开口 光罩表面 机器清洗 两端开口 驱动芯轴 人工清洗 人体危害 轴承固定 轴套顶端 轴套两端 中空 治具 转动 驱动 消耗 局限 移动 | ||
【主权项】：
1.一种光罩清洗治具，其特征在于，所述清洗治具包括中空且两端开口的轴套、借助于轴承固定安装于轴套内且两端分别自所述轴套两端的开口伸出的芯轴、固定于所述芯轴的自所述轴套的底端开口伸出的一端上的刷具，所述芯轴的自轴套顶端开口伸出的一端与用于驱动芯轴旋转的旋转动力机构传动连接。
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