[实用新型]一种高产能石墨舟有效
申请号: | 201821446281.3 | 申请日: | 2018-09-05 |
公开(公告)号: | CN208861954U | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 崔慧敏;林罡;王鹏 | 申请(专利权)人: | 无锡华源晶电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;C23C16/458 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高产能石墨舟,包括主体,所述主体的外侧安装有石英管,所述主体上安装有陶瓷环,所述陶瓷环的两端安装有陶瓷柱,所述陶瓷环上安装有舟片,主体的两端安装有石墨舟片,所述石墨舟片上设置有第一电极,所述石墨舟片的两端安装有第一固定螺丝,所述主体两端的下方安装有石墨块,所述石墨块上设置有第二电极,所述哇片上安装有第二固定螺丝。本实用新型增加产能的方式是通过增加石墨舟片和硅片的排列纵数来实现的,石墨舟载片量是416片时,石墨舟的片数是27片,石墨舟片中硅片的排列是8纵,而载片量达到600片时,石墨舟的片数需要加大到31片,硅片排列为10纵,通过其有效提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 石墨舟 石墨舟片 陶瓷环 本实用新型 固定螺丝 石墨块 硅片 片数 载片 高产 第二电极 第一电极 硅片排列 生产效率 主体两端 石英管 陶瓷柱 产能 舟片 | ||
【主权项】:
1.一种高产能石墨舟,包括主体(1),其特征在于:所述主体(1)的外侧安装有石英管(4),所述主体(1)上安装有陶瓷环(3),所述陶瓷环(3)的两端安装有陶瓷柱(7),所述陶瓷环(3)上安装有舟片(6),主体(1)的两端安装有石墨舟片(2),所述石墨舟片(2)上设置有第一电极(5),所述石墨舟片(2)的两端安装有第一固定螺丝(8),所述主体(1)两端的下方安装有石墨块(11),所述石墨块(11)上设置有第二电极(10),所述石墨块(11)的底端安装有第一舟脚(9)与第二舟脚(14),且第二舟脚(14)设置在第一舟脚(9)的内侧,所述主体(1)上安装有哇片(12),所述哇片(12)上安装有第二固定螺丝(13)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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