[实用新型]机械夹持机械手有效

申请号：	201821463598.8	申请日：	2018-09-07
公开（公告）号：	CN208722857U	公开（公告）日：	2019-04-09
发明（设计）人：	王冲;陈胜华	申请（专利权）人：	宁波润华全芯微电子设备有限公司
主分类号：	H01L21/677	分类号：	H01L21/677;H01L21/687
代理公司：	宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264	代理人：	胡小永
地址：	315400 浙江省***	国省代码：	浙江;33
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摘要：	本实用新型提供一种机械夹持机械手，包括壳体、气缸、连接轴、夹持座、夹紧块、固定座、第一导向夹持块和第二导向夹持块；所述壳体可转动的设置在机械手上端；所述气缸固定的安装在所述壳体内部；所述连接轴可伸缩的设置在所述壳体内；所述气缸的活塞杆与所述连接轴连接，所述连接轴的另一端与所述夹持座固定，所述气缸的活塞杆的伸缩运动带动所述夹持座移动。本实用新型结构简单，设计非常巧妙，夹持方便，高速搬运晶片时，不会造成晶片滑落了；将晶片通过机械夹持的方式固定在机械手上，而且能实现快速检测晶片运输过程中有无掉落，防止晶片掉落损坏。
搜索关键词：	连接轴气缸机械夹夹持座导向夹持块机械手活塞杆晶片壳体本实用新型高速搬运晶片掉落晶片运输壳体内部可伸缩的快速检测伸缩运动固定的固定座夹紧块可转动掉落上端滑落夹持体内移动
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【主权项】：

1.一种机械夹持机械手，其特征在于：包括壳体(1)、气缸(2)、连接轴(4)、夹持座(8)、夹紧块(9)、固定座(10)、第一导向夹持块(11)和第二导向夹持块(12)；所述壳体(1)可转动的设置在机械手(22)上端；所述气缸(2)固定的安装在所述壳体(1)内部；所述连接轴(4)可伸缩的设置在所述壳体(1)内；所述气缸(2)的活塞杆与所述连接轴(4)连接，所述连接轴(4)的另一端与所述夹持座(8)固定，所述气缸(2)的活塞杆的伸缩运动带动所述夹持座(8)移动；两个所述夹紧块(9)分别设置在所述夹持座(8)的一端两侧，所述夹紧块(9)用于夹紧晶片(13)；所述固定座(10)一端与所述壳体(1)固定；所述第一导向夹持块(11)和第二导向夹持块(12)对称的设置在所述固定座(10)上；被夹持的晶片(13)设置在所述第一导向夹持块(11)和第二导向夹持块(12)之间的空腔内；所述固定座(10)下端面与所述夹持座(8)上端面贴合。

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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