[实用新型]一种化学水浴沉积装置

摘要

本实用新型提供一种化学水浴沉积装置，包括：水浴锅；加热丝，环绕水浴锅的内侧壁设置或环绕水浴锅的内侧壁和底部设置。可见，本实用新型实施例将加热丝的加热方式由底部加热方式改进为了四周环形加热方式，或在加热丝的现有加热方式的基础上增加了四周环形加热方式，这样一方面能够增大加热面积，另一方面能够保证水浴锅的不同高度处的温度均匀性。由于加热面积的增大，本实用新型实施例中的水浴加热速度能够得到提升，这样能够提高薄膜沉积效率。由于不同高度处的温度均匀性得到保证，本实用新型实施例能够避免不同高度处的温差过大而对薄膜沉积过程造成不良的影响，以为薄膜材料的沉积创造一个更良好的外部水浴环境，从而提高沉积的薄膜质量。

主权项

1.一种化学水浴沉积装置，其特征在于，包括：水浴锅；加热丝，所述加热丝环绕所述水浴锅的内侧壁设置；或所述加热丝环绕所述水浴锅的内侧壁和底部设置。