[实用新型]一种背封炉喷头放置工具有效

专利信息
申请号: 201821468582.6 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN208781815U 公开(公告)日: 2019-04-23
发明(设计)人: 张天鹏;张娟娟 申请(专利权)人: 麦斯克电子材料有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 逯雪峰
地址: 471000 河南省洛阳*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 一种背封炉喷头放置工具,背封炉和放置工具均设置在工作台上,背封炉上设有喷头,喷头前端设有喷嘴,喷头放在放置工具上,放置工具包括门字型框架和喷头支架,门字型框架的板面中心设有保护喷嘴的窄缝;喷头支架包括竖杆和放置喷头的圆形支撑环,圆形支撑环固定在竖杆顶端,且位于窄缝上方,竖杆下端的杆体上对称设有凹槽,窄缝一侧设有垂直且穿透板面的第一柱孔,沿着第一柱孔的径向方向,对称设有垂直第一柱孔内壁的第二柱孔,第二柱孔内设有弹簧凸块,竖杆下端设置在第一柱孔内;本实用新型通过设置放置工具,可以将喷头稳当地放置在工具上面,不会碰撞到喷嘴,便于对喷头进行拆装维护,解决了拆装喷头时无法放置的问题。
搜索关键词: 喷头 放置工具 柱孔 背封 喷嘴 竖杆 窄缝 门字型框架 圆形支撑环 喷头支架 对称 垂直 本实用新型 板面中心 拆装维护 弹簧凸块 竖杆顶端 柱孔内壁 穿透板 拆装 杆体 下端
【主权项】:
1.一种背封炉喷头放置工具,背封炉和放置工具均设置在工作台上,所述背封炉上设有喷头,所述喷头前端设有喷嘴,所述喷头放在所述放置工具上,其特征在于,所述放置工具包括门字型框架和喷头支架,所述门字型框架的板面中心设有保护所述喷嘴的窄缝;所述喷头支架包括竖杆和放置所述喷头的圆形支撑环,所述圆形支撑环固定在所述竖杆顶端,且位于所述窄缝上方,所述竖杆下端的杆体上对称设有凹槽,所述窄缝一侧设有垂直且穿透所述板面的第一柱孔,沿着所述第一柱孔的径向方向,对称设有垂直所述第一柱孔内壁的第二柱孔,所述第二柱孔内设有弹簧凸块,所述竖杆下端设置在所述第一柱孔内。
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