[实用新型]研磨液供给装置及化学机械研磨系统有效
| 申请号： | 201821474304.1 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN208801223U | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 郭松辉;陆从喜;沈新林;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/00;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨液供给装置及化学机械研磨系统，所述研磨液供给装置包含：研磨液供应系统；过滤装置；第一管路，一端与研磨液供应系统连通，另一端与过滤装置连通；流量控制器；第二管路，一端与过滤装置连通，另一端与流量控制器连通；第三管路，一端与流量控制器连通，另一端与一化学机械研磨机台连通；至少一个恒温装置，至少设置于第一管路、第二管路和第三管路中的一条管路上。本实用新型具有使得初始研磨阶段研磨率平稳且与第二阶段研磨率相同，节约研磨液的使用量，缩短研磨时间，提高研磨量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 连通 研磨 研磨液供给装置 流量控制器 过滤装置 化学机械研磨系统 研磨液供应系统 本实用新型 化学机械研磨机台 恒温装置 研磨量 研磨液 节约 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液供给装置，其特征在于，包含：研磨液供应系统；过滤装置；第一管路，一端与所述研磨液供应系统连通，另一端与所述过滤装置连通；流量控制器；第二管路，一端与所述过滤装置连通，另一端与所述流量控制器连通；第三管路，一端与所述流量控制器连通，另一端与一化学机械研磨机台连通；至少一个恒温装置，至少设置于所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路中的一条管路上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德淮半导体有限公司，未经德淮半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821474304.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
