[实用新型]化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201821476910.7 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN208744532U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘博佳;王海宽;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34;B24B49/00;B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种化学机械研磨装置。所述化学机械研磨装置，包括修整臂和研磨头，还包括控制器、覆盖于所述研磨头表面的导电层、以及安装于所述修整臂上的电感式接近传感器；所述电感式接近传感器连接所述控制器，用于检测所述导电层与所述修整臂之间的距离是否小于预设值，若是，则通过所述控制器发出警报。本实用新型有效避免研磨头与修整臂之间发生碰撞，防止了因碰撞掉落的碎屑对晶圆表面的划伤，确保了化学机械研磨工艺持续、稳定的进行。 | ||
| 搜索关键词： | 修整臂 化学机械研磨装置 控制器 研磨头 电感式接近传感器 本实用新型 导电层 化学机械研磨工艺 半导体制造技术 晶圆表面 掉落 划伤 碎屑 预设 警报 检测 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨装置，包括修整臂和研磨头，其特征在于，还包括控制器、覆盖于所述研磨头表面的导电层、以及安装于所述修整臂上的电感式接近传感器；所述电感式接近传感器连接所述控制器，用于检测所述导电层与所述修整臂之间的距离是否小于预设值，若是，则通过所述控制器发出警报。
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