[实用新型]水汽分析仪校准装置有效
| 申请号： | 201821478499.7 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN208921654U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 刘晓丽 | 申请（专利权）人： | 广州赛宝计量检测中心服务有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 511370 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种水汽分析仪校准装置，所述水汽分析仪校准装置包括水汽发生模块、水汽浓度测量模块和采样模块；所述水汽发生模块采用双压分流结合法发生水汽，包括两级减压阀、第1三通阀和混合器，所述两级减压阀用于对管路中的气体进行两次降压，所述第1三通阀用于将通过所述两级减压阀降压后的气体分流到干气管路和湿气管路，所述混合器用于将所述干气管路中的干气和所述湿气管路中的湿气混合，从而发生水汽；所述水汽浓度测量模块用于测量所述水汽发生模块发生的水汽浓度，所述采样模块用于对所述水汽发生模块发生的水汽进行取样。本实用新型能够对小腔体内部水汽质谱分析仪进行准确校准，从而保障密封器件内部水汽分析的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 水汽 发生模块 减压阀 湿气 分析仪校准 两级 混合器 浓度测量模块 本实用新型 采样模块 干气管路 三通阀 降压 质谱分析仪 密封器件 气体分流 水汽分析 体内部 校准 干气 取样 双压 小腔 测量 分流 | ||
【主权项】：
1.一种水汽分析仪校准装置，其特征在于，包括水汽发生模块、水汽浓度测量模块和采样模块；所述水汽发生模块采用双压分流结合法发生水汽，包括两级减压阀、第1三通阀和混合器，所述两级减压阀用于对管路中的气体进行两次降压，所述第1三通阀用于将通过所述两级减压阀降压后的气体分流到干气管路和湿气管路，所述混合器用于将所述干气管路中的干气和所述湿气管路中的湿气混合，从而发生水汽；所述水汽浓度测量模块用于测量所述水汽发生模块发生的水汽浓度，所述采样模块用于对所述水汽发生模块发生的水汽进行取样。
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