[实用新型]一种单晶炉用冷却系统有效
| 申请号： | 201821482965.9 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN209162249U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 张天彬;陈立军;白喜军;李强;涂准;申晨 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的一种单晶炉用冷却系统，包括抽气装置、排气管道以及冷却管道。抽气装置一端连接排气管道，排气管道与单晶炉体连通，抽气装置另一端连接冷却管道，冷却管道与单晶炉体连通；抽气装置通过排气管道从单晶炉体内抽出高温气体并从冷却管道流入单晶炉体1内。即本实用新型的抽气装置用于通过排气管道从单晶炉体内抽出高温气体并从冷却管道流入单晶炉体内，使高温气体在单晶炉体外冷却。通过利用抽气装置配合排气管道和冷却管道对单晶炉内热空气进行内循环热交换，从而达到了快速冷却热场部件目的，缩短了停炉冷却时间，增加了单位产能，进而达到提产增效的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 抽气装置 冷却管道 排气管道 高温气体 本实用新型 冷却系统 一端连接 体内 连通 热交换 抽出 快速冷却 热场部件 停炉冷却 内循环 产能 内热 体外 增效 冷却 配合 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉用冷却系统，其特征在于，所述系统包括抽气装置、排气管道以及冷却管道；所述抽气装置的一端与所述排气管道连通，所述排气管道与单晶炉体连通，所述抽气装置的另一端与所述冷却管道连通，所述冷却管道与所述单晶炉体连通；所述抽气装置用于通过所述排气管道从所述单晶炉体内抽出高温气体并从所述冷却管道流入所述单晶炉体内，使所述高温气体在所述单晶炉体外冷却。
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