[实用新型]一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201821483940.0 申请日: 2018-09-11
公开(公告)号: CN208717431U 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 李建国;尚心德;张燕聪 申请(专利权)人: 福建新嵛柔性材料科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/35
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 366000 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机,包括箱体,所述箱体内腔开设有真空镀膜室,所述真空镀膜室下方开设有收料室,所述收料室一侧通过铰链连接有柜门,所述柜门表面镶嵌有观察窗,所述观察窗一侧焊接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆一端通过卡扣连接有支杆,所述支杆表面粘连有绒毛毡布,所述电动伸缩杆一侧通过卡扣连接有清洁剂瓶,所述收料室内腔顶部焊接有电推杆。本实用新型通过雾化喷头将清洁剂生成水雾喷洒在观察窗上,并通过电动伸缩杆带动绒毛毡布在观察窗上移动,对观察窗表面吸附的镀膜料进行清理,通过电推杆推动张紧辊与基材相贴合,使基材在一号导向辊和二号导向辊上绷紧。
搜索关键词: 电动伸缩杆 观察窗 磁控溅射真空镀膜机 本实用新型 真空镀膜室 卡扣连接 导向辊 电推杆 卷绕式 收料室 绒毛 毡布 焊接 清洁剂 表面吸附 柜门表面 铰链连接 清洁剂瓶 水雾喷洒 雾化喷头 箱体内腔 支杆表面 镀膜料 基材相 室内腔 张紧辊 粘连 绷紧 观察 柜门 基材 收料 贴合 支杆 镶嵌 移动
【主权项】:
1.一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)内腔开设有真空镀膜室(4),所述真空镀膜室(4)下方开设有收料室(7),所述收料室(7)一侧通过铰链连接有柜门(8),所述柜门(8)表面镶嵌有观察窗(9),所述观察窗一侧焊接有电动伸缩杆(10),所述电动伸缩杆(10)一端通过卡扣连接有支杆(11),所述支杆(11)表面粘连有绒毛毡布(12),所述电动伸缩杆(10)一侧通过卡扣连接有清洁剂瓶(15),所述收料室(7)内腔顶部焊接有电推杆(17),所述电推杆(17)一端转动连接有张紧辊(18)。
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