[实用新型]一种光栅尺拼接姿态检测系统与光栅尺拼接系统有效
申请号: | 201821493743.7 | 申请日: | 2018-09-12 |
公开(公告)号: | CN208780130U | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 李星辉;陆海鸥;周倩;王晓浩;袁伟涵;倪凯;吴冠豪 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谢岳鹏 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及精密测量领域,公开了一种光栅尺拼接姿态检测系统与光栅尺拼接系统,光栅尺拼接姿态检测系统包括支撑平台,支撑平台用于放置待检测的光栅,并可供光栅相对支撑平台移动;检测光源,检测光源用于向光栅射出第一光束,第一光束经光栅形成至少两道第二光束;接收装置,第二光束可分别在接收装置上形成光斑;观测装置,观测装置用于记录各光斑的位置。本实用新型通过检测光源向待测光栅施加第一检测光束,第一检测光束经光栅作用后形成至少两条第二光束,第二光束在接收装置形成光斑,记录并比较不同光栅形成的光斑便可以实现光栅姿态的检测。本实用新型具有结构简单、易于操作等优点。 | ||
搜索关键词: | 光栅 光栅尺 光斑 姿态检测系统 本实用新型 检测光源 支撑平台 拼接 观测装置 检测光束 拼接系统 精密测量领域 光栅作用 检测 记录 射出 施加 移动 | ||
【主权项】:
1.一种光栅尺拼接姿态检测系统,其特征在于,包括支撑平台,所述支撑平台用于放置待检测的光栅,并可供所述光栅相对所述支撑平台移动;检测光源,所述检测光源用于向所述光栅射出第一光束,所述第一光束经所述光栅形成至少两道第二光束;接收装置,所述第二光束可分别在所述接收装置上形成光斑;观测装置,所述观测装置用于记录各所述光斑的位置。
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