[实用新型]一种电感耦合等离子体处理器有效
| 申请号： | 201821494654.4 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN209057396U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 赵馗;饭塚浩;倪图强;庞晓贝 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 包姝晴 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电感耦合等离子体处理器，所述处理器包括：真空室，所述真空室上方设置一个感应天线，所述感应天线连接到一个源射频电源；所述真空室内设置一基座，所述基座上方用于支撑待处理晶圆；第一射频偏压电源和第二射频偏压电源通过一可切换匹配网络，选择性地将第一、第二射频偏压电源中的其中之一连通到所述基座中；其中第一射频偏压电源的输出信号频率大于第二射频偏压电源的输出信号频率。本实用新型专门针对工作频率设计了一种射频匹配网络，提供两种不同频率操作的、可有效切换的射频匹配网络，可有效地施加偏压功率，能够切换偏压频率并提供能够将任一偏压频率有效地耦合至等离子体的射频匹配网络。 | ||
| 搜索关键词： | 射频偏压电源 射频匹配网络 处理器 电感耦合等离子体 输出信号频率 本实用新型 感应天线 有效地 真空室 等离子体 工作频率 匹配网络 偏压功率 偏压频率 射频电源 耦合 可切换 晶圆 连通 施加 室内 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种电感耦合等离子体处理器，其特征在于：所述处理器包括：真空室，所述真空室上方设置一个感应天线，所述感应天线连接到一个源射频电源；所述真空室内设置一基座，所述基座上方用于支撑待处理晶圆；第一射频偏压电源和第二射频偏压电源通过一可切换匹配网络，选择性地将第一、第二射频偏压电源中的其中之一连通到所述基座中；其中第一射频偏压电源的输出信号频率大于第二射频偏压电源的输出信号频率。
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