[实用新型]一种还原炉装炉装置有效
| 申请号： | 201821507700.X | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN208802834U | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 余涛;刘晓彬 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王学强;罗满 |
| 地址： | 614800 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种还原炉装炉装置，去掉了柔性石墨垫结构，将石墨卡瓣分段为第一卡瓣与第二卡瓣，减小石墨卡瓣的直径，并且将石墨卡瓣分切削为4瓣，使装置在去掉了柔性石墨垫之后，还能够通过石墨卡瓣结构的合理设置缓冲电磁震荡的应力，同时保持夹持的稳固性，并且在石墨卡瓣与石墨螺帽表面涂布耐高温涂层，涂层的设置解决了硅芯在还原过程中硅棒下端碳质污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨卡瓣 柔性石墨垫 还原炉 卡瓣 装炉 本实用新型 耐高温涂层 表面涂布 电磁震荡 合理设置 还原过程 石墨螺帽 稳固性 切削 硅棒 硅芯 缓冲 夹持 减小 碳质 下端 分段 污染 | ||
【主权项】：
1.一种还原炉装炉装置，包括石墨螺帽、石墨卡瓣以及石墨底座，所述石墨底座下部设置卡槽与电极卡合，所述石墨卡瓣夹持硅芯置于石墨底座上部，所述石墨螺帽套合在石墨底座与石墨卡瓣的连接部外围，所述石墨卡瓣中心设置有垂直的圆孔，其特征在于，所述石墨卡瓣为圆锥形，包括由上至下依次连接的第一石墨卡瓣与第二石墨卡瓣，所述第二石墨卡瓣的直径大于第一石墨卡瓣的直径，所述第一石墨卡瓣与第二石墨卡瓣四等分切削为四瓣。
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