[实用新型]一种自动化晶圆切割定位装置

摘要

本实用新型涉及晶圆切割装置技术领域，尤其涉及一种自动化晶圆切割定位装置，包括：底座、气动升降台、真空陶瓷吸盘、安装架；所述底座为矩形板状结构；所述气动升降台设置在底座的上侧，且气动升降台与底座通过螺栓固定相连接；所述真空陶瓷吸盘设置在气动升降台的上侧，且真空陶瓷吸盘与气动升降台通过螺栓固定相连接；所述安装架设置在底座的上侧，且安装架与底座通过焊接方式相连接；通过以上结构上的改进，该装置具有加工定位精确方便、切割效率高、效果好、自动化程度高且通用性高的优点，从而有效的解决了现有装置中存在的问题和不足。

主权项

1.一种自动化晶圆切割定位装置，包括：底座（1）、气动升降台（2）、真空陶瓷吸盘（3）、安装架（4）、X轴导轨（5）、X轴移动座（6）、第一伺服电机（7）、Y轴丝杠（8）、联轴器（9）、轴承座（10）、Y轴导轨（11）、固定块（12）、Y轴移动座（13）、第二伺服电机（14）、X轴丝杠（15）、螺母移动座（16）、激光切割器（17）；其特征在于：所述底座（1）为矩形板状结构；所述气动升降台（2）设置在底座（1）的上侧，且气动升降台（2）与底座（1）通过螺栓固定相连接；所述真空陶瓷吸盘（3）设置在气动升降台（2）的上侧，且真空陶瓷吸盘（3）与气动升降台（2）通过螺栓固定相连接；所述安装架（4）设置在底座（1）的上侧，且安装架（4）与底座（1）通过焊接方式相连接；所述X轴导轨（5）设置在安装架（4）的上部，且X轴导轨（5）与安装架（4）通过螺栓固定相连接；所述X轴移动座（6）设置在X轴导轨（5）的上侧，且X轴移动座（6）与X轴导轨（5）通过嵌入方式相连接；所述第一伺服电机（7）设置在X轴移动座（6）的一端，且第一伺服电机（7）与X轴移动座（6）通过螺栓固定相连接；所述Y轴丝杠（8）设置在X轴移动座（6）的上侧，且Y轴丝杠（8）与X轴移动座（6）通过轴承座（10）相连接；所述联轴器（9）设置在Y轴丝杠（8）的一端，且Y轴丝杠（8）通过联轴器（9）连接至第一伺服电机（7）主轴；所述Y轴导轨（11）设置在安装架（4）的上部，且Y轴导轨（11）与安装架（4）通过螺栓固定相连接；所述固定块（12）设置Y轴导轨（11）的一端，且固定块（12）通过螺栓固定连接至安装架（4）；所述Y轴移动座（13）设置在Y轴导轨（11）的上侧，且Y轴移动座（13）与Y轴导轨（11）通过嵌入方式相连接；所述第二伺服电机（14）设置在Y轴移动座（13）的一端，且第二伺服电机（14）与Y轴移动座（13）通过螺栓固定相连接；所述X轴丝杠（15）设置在Y轴移动座（13）的上侧，且X轴丝杠（15）与Y轴移动座（13）通过轴承座相连接；所述螺母移动座（16）设置在Y轴移动座（13）的中部，且螺母移动座（16）与Y轴移动座（13）通过贯穿方式相连接；所述激光切割器（17）设置在螺母移动座（16）的下侧，且激光切割器（17）与螺母移动座（16）通过螺栓固定相连接。