[实用新型]一种自动控制测量装置有效

专利信息
申请号: 201821535907.8 申请日: 2018-09-19
公开(公告)号: CN209014480U 公开(公告)日: 2019-06-21
发明(设计)人: 侯少锋;王继伟;李建邦 申请(专利权)人: 深圳德仪先创科技有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01R31/00
代理公司: 深圳市深科信知识产权代理事务所(普通合伙) 44422 代理人: 万永泉
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种自动控制测量装置,包括立柱、基座、载台、测量物镜装置、控制装置及影像撷取装置;载台安装在基座上,立柱安装在基座一侧并且位于载台一侧;测量物镜装置包括测量物镜组、微分干涉光路、光源、鼻轮,测量物镜组包括影像撷取装置;测量物镜组安装在鼻轮底部;测量物镜装置安装在第三移动件上并且伸至载台的上方;该种自动控制测量装置具有操作简单、效率高、使用寿命高、制程良率高等现有技术所不具备的优点。
搜索关键词: 测量物镜 载台 自动控制测量 影像撷取装置 鼻轮 本实用新型 控制装置 立柱安装 使用寿命 微分干涉 装置安装 移动件 光路 立柱 良率 制程 光源
【主权项】:
1.一种自动控制测量装置,其特征在于:包括立柱(1)、基座(3)、载台(2)、测量物镜装置(4)、控制装置及影像撷取装置;所述载台(2)安装在基座(3)上,所述立柱(1)安装在基座(3)一侧并且位于载台(2)一侧;还包括第一移动件(21)、第二移动件(22)、第三移动件(11)、鼻轮、光源、微分干涉光路,所述测量物镜装置(4)包括测量物镜组(41)、微分干涉光路、光源、鼻轮,所述测量物镜组(41)包括影像撷取装置,所述测量物镜组(41)安装在鼻轮底部,所述测量物镜装置(4)安装在第三移动件(11)上并且伸至载台(2)的上方,所述测量物镜装置(4)随第三移动件(11)位移;所述控制装置与第一移动件(21)、第二移动件(22)、第三移动件(11)、鼻轮、光源电性相连。
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