[实用新型]一种线扫描式PL装置有效
| 申请号： | 201821541829.2 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208722844U | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘怀广;王骏明;胡青青 | 申请（专利权）人： | 无锡市瑞能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214233 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种线扫描式PL装置，包括机架、光源组件、相机组件、传片组件；本实用新型解决了太阳能电池片在PL检测时的图像获取问题，能够在电池片的传送过程中快速获取PL图像，成像过程电池片无需停留，可极大地提高PL的效率。本实用新型具有结构紧凑、产能高、环保、碎片率低、连续性强的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 本实用新型 电池片 线扫描 太阳能电池片 成像过程 传送过程 光源组件 快速获取 图像获取 相机组件 片组件 碎片率 产能 图像 停留 检测 环保 | ||
【主权项】：
1.一种线扫描式PL装置，包括机架(1)、光源组件(2)、相机组件(3)、传片组件(4)，其特征在于：所述光源组件(2)安装在机架(1)上，相机组件(3)安装在机架(1)上，位于光源组件(2)的中心，传片组件(4)安装在机架(1)上，位于光源组件(2)的下方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
