[实用新型]一种炉式PECVD防水奈米涂布装置有效
申请号: | 201821542846.8 | 申请日: | 2018-09-20 |
公开(公告)号: | CN208791751U | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 杨福年;郑锡文 | 申请(专利权)人: | 东莞市和域战士纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/513 | 分类号: | C23C16/513 |
代理公司: | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351 | 代理人: | 韩绍君 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种炉式PECVD防水奈米涂布装置,包括炉体,所述炉体内腔壁一侧固定设置有滑槽,所述滑槽表面可拆卸连接有支架,所述支架表面中间固定连接有一号放卷辊,所述一号放卷辊两侧均固定焊接有二号放卷辊。本实用新型等离子发射器在低气压下,使空气经一系列化学反应和等离子体反应,最终在涂布表面形成固态薄膜,从而可有效增强涂布的防水效果,等离子发射器工作时产生的废气通过真空泵抽进空气净化器中进行净化,可有效减少有毒气体的排放,且通过加热器对防水膜进行加热,其中加热器通过温度控制器进行控制,使加热器保持在恒定温度进行加热,加热后通过碾压辊对防水膜进行碾压,从而使防水膜被粘附在涂布表面。 | ||
搜索关键词: | 加热器 防水膜 放卷辊 加热 等离子发射器 本实用新型 涂布表面 涂布装置 防水 恒定 等离子体反应 化学反应 可拆卸连接 空气净化器 温度控制器 防水效果 固定焊接 固定设置 固态薄膜 滑槽表面 炉体内腔 有效减少 支架表面 低气压 碾压辊 真空泵 滑槽 炉体 碾压 粘附 支架 废气 净化 排放 | ||
【主权项】:
1.一种炉式PECVD防水奈米涂布装置,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)内腔壁一侧固定设置有滑槽(2),所述滑槽(2)表面可拆卸连接有支架(3),所述支架(3)表面中间固定连接有一号放卷辊(4),所述一号放卷辊(4)两侧均固定焊接有二号放卷辊(5),所述一号放卷辊(4)一侧固定设置有等离子发射器(6),所述炉体(1)一侧表面的底部固定设置有真空泵(7),且真空泵(7)通过管道与等离子发射器(6)相连,所述等离子发射器(6)一侧均固定设置有一号导辊(8),所述一号导辊(8)一侧均固定设置有加热器(9)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市和域战士纳米科技有限公司,未经东莞市和域战士纳米科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821542846.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:用于处理腔室的腔室部件
- 下一篇:一种PECVD纳米防水处理设备
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的