[实用新型]温度测量组件有效
| 申请号： | 201821546218.7 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN208847361U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 朱小凡;赵黎 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 该实用新型涉及一种温度测量组件，包括温度测量单元和外壳，其中，温度测量单元用于测量温度；外壳具有一开口，温度测量单元穿过开口放置于外壳的内部；外壳与温度测量单元之间构成密闭空间。所述温度测量组件将温度测量单元放置于外壳的内部，使得温度测量单元与被测量物不直接接触，将温度测量单元与被测量物隔离开来，即使温度测量单元发生破损，也不会直接与被测量物接触。只有当外壳和温度测量单元同时发生破损时，温度测量单元才可能会污染被测量物，因此，被测量物被污染的概率大大降低。当被测量物为晶圆湿法清洗中的清洗液时，可以降低晶圆被已污染的清洗液清洗的概率，从而提升晶圆的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 温度测量单元 测量物 温度测量组件 晶圆 清洗液 破损 开口 污染 不直接接触 密闭空间 湿法清洗 概率 良率 清洗 测量 穿过 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种温度测量组件，其特征在于，包括温度测量单元和外壳，其中，所述温度测量单元用于测量温度；所述外壳具有一开口，所述温度测量单元穿过开口放置于所述外壳的内部；所述外壳与所述温度测量单元之间构成密闭空间。
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