[实用新型]基板载台和离子注入设备有效
| 申请号： | 201821550546.4 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208608165U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刘晨亮;姜东诚;傅永义;谭超;经好;李儒健;罗康;黎韬;相莎莎;方娟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板载台和离子注入设备，属于半导体设备技术领域，其可至少部分解决现有的离子注入设备制造的基板中异物和性能不稳定的问题。本实用新型的基板载台，包括载台本体，所述载台本体具有承载面，所述承载面包括用于放置基板的基板放置区，所述基板载台还包括至夹具，所述夹具用于将基板固定在所述基板放置区，所述夹具包括移动件和连接在所述移动件上的接触件，所述移动件能够移动以使所述接触件压在所述基板的边缘部或者离开所述基板，所述接触件与所述基板接触的部分的表面为弧面。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载台 基板 夹具 离子注入设备 接触件 移动件 本实用新型 基板放置区 承载面 半导体设备 基板固定 基板接触 载台本体 边缘部 台本体 异物 弧面 移动 制造 | ||
【主权项】：
1.一种基板载台，包括载台本体，所述载台本体具有承载面，所述承载面包括用于放置基板的基板放置区，所述基板载台还包括至夹具，所述夹具用于将基板固定在所述基板放置区，其特征在于，所述夹具包括移动件和连接在所述移动件上的接触件，所述移动件能够移动以使所述接触件压在所述基板的边缘部或者离开所述基板，所述接触件与所述基板接触的部分的表面为弧面。
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