[实用新型]一种晶圆压紧装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆压紧装置，包括底座、托盘和托座，所述底座的侧壁贯穿有插槽，所述底座的上表面设置有滑槽，所述底座的上方左右两侧均安置有移动台，所述移动台的内部设置有液压缸，所述托盘的上方左右两侧均固定有伸缩杆，所述伸缩杆远离托盘的一端焊接有锁位板，所述移动台的上方侧壁开设有凹槽，所述立架的中间开设有活动槽，所述立架的后侧安置有横杆，所述托盘的内部贯通有气道，所述托座安装在气管的上方。该晶圆压紧装置采用气吸固定的方式作为主要固定方式，与晶圆表面的接触程度较低，不会对晶圆表面造成较大的损坏，能够在装置的基础上，完成对晶圆的位置移动，且移动方式采用电动形式，不需要人工手动干预。

主权项

1.一种晶圆压紧装置，包括底座(1)、托盘(9)和托座(24)，其特征在于：所述底座(1)的侧壁贯穿有插槽(2)，且插槽(2)的内侧插入有插杆(3)，所述底座(1)的上表面设置有滑槽(4)，且滑槽(4)的内部嵌入有定位螺栓(5)，所述底座(1)的上方左右两侧均安置有移动台(6)，且移动台(6)的底部与滑槽(4)之间为配合连接，所述移动台(6)的内部设置有液压缸(7)，且液压缸(7)的连接端安装有液压伸缩杆(8)，所述托盘(9)的上方左右两侧均固定有伸缩杆(10)，且托盘(9)的下方左右两侧分别与液压伸缩杆(8)靠近底座(1)竖直中心线的一端固定焊接，所述伸缩杆(10)远离托盘(9)的一端焊接有锁位板(11)，且锁位板(11)与移动台(6)之间为螺钉连接，所述移动台(6)的上方侧壁开设有凹槽(12)，且移动台(6)的上表面固定有立架(13)，所述立架(13)的中间开设有活动槽(14)，且活动槽(14)的中间嵌入有固定螺丝(16)，所述立架(13)的后侧安置有横杆(15)，且固定螺丝(16)从横杆(15)的内部贯穿，所述横杆(15)的外侧套设有滑套(17)，且滑套(17)的内部中间贯穿有气胶管(18)，所述滑套(17)的下表面固定连接有收缩弹簧(19)，且收缩弹簧(19)的下端与压盘(20)的上表面之间为熔接，所述压盘(20)的下表面开设有气口(21)，且气胶管(18)与压盘(20)相通，所述托盘(9)的内部贯通有气道(22)，且气道(22)的上方连通有气管(23)，所述托座(24)安装在气管(23)的上方。