[实用新型]镀膜托盘及镀膜系统有效
| 申请号： | 201821555124.6 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208844188U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 郭爱云;汪友林;王君 | 申请（专利权）人： | 沈阳爱科斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 陈治位 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本申请涉及镀膜装置技术领域，尤其是涉及一种镀膜托盘及镀膜系统。该镀膜托盘包括支撑机构、公转转盘和自转机构；所述公转转盘安装于所述支撑机构上，且所述公转转盘能够绕自身的轴线转动；所述自转机构安装于所述公转转盘上，所述公转转盘能够带动所述自转机构绕所述公转转盘的轴线转动，且所述自转机构与所述公转转盘转动连接；所述支撑机构上设置有内齿圈，所述公转转盘的轴线穿过所述内齿圈的中心，所述自转机构包括工件杆和自转齿轮，所述工件杆与所述自转齿轮连接，所述自转齿轮与所述内齿圈相啮合。本申请实现了工件绕公转转盘的中心转动以及工件的自转，进而实现对安装于工件杆上的工件均匀镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 公转转盘 自转机构 镀膜托盘 支撑机构 自转齿轮 工件杆 内齿圈 镀膜系统 轴线转动 啮合 镀膜装置 均匀镀膜 中心转动 转动连接 自转 申请 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜托盘，其特征在于，包括支撑机构、公转转盘和自转机构；所述公转转盘安装于所述支撑机构上，且所述公转转盘能够绕自身的轴线转动；所述自转机构安装于所述公转转盘上，所述公转转盘能够带动所述自转机构绕所述公转转盘的轴线转动，且所述自转机构与所述公转转盘转动连接；所述支撑机构上设置有内齿圈，所述公转转盘的轴线穿过所述内齿圈的中心，所述自转机构包括工件杆和自转齿轮，所述工件杆与所述自转齿轮连接，所述自转齿轮与所述内齿圈相啮合。
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