[实用新型]一种磁控电阻镀膜机可旋转盖体结构有效
| 申请号： | 201821558706.X | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN209149891U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 郑花妍;李龙洁 | 申请（专利权）人： | 元一铭信（天津）电子有限公司 |
| 主分类号： | H01C17/28 | 分类号： | H01C17/28 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 王来佳 |
| 地址： | 300350 天津市津南*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电阻制造装置领域，属于电阻镀膜技术领域，特别是一种磁控电阻镀膜机可旋转盖体结构，包括罐体，所述罐体开口设置，在开口位置活动安装有一密封盖，在所述罐体上方沿轴向方向一体安装有一推进气缸，该推进气缸的活塞杆端部与密封盖上端固定安装，在所述罐体上方外壁的后端部安装有一旋转装置，该旋转装置通过一连接件与推进气缸的后端部相固定，所述旋转装置可带动推进气缸周向转动，进而带动密封盖与罐体开口发生摆转；所述旋转装置包括一摆转油缸，摆转油缸的缸筒内安装有齿条和旋转轴，位于齿条下方的缸筒内安装有旋转轴，旋转轴的后端外缘制有与齿条相啮合的外齿，旋转轴的前端部由摆转气缸内伸出与连接件的后端固定安装。 | ||
| 搜索关键词： | 罐体 推进气缸 旋转装置 旋转轴 电阻镀膜 密封盖 摆转 齿条 盖体结构 后端部 可旋转 连接件 磁控 缸筒 油缸 啮合 本实用新型 活塞杆端部 摆转气缸 活动安装 开口设置 开口位置 上端固定 上方外壁 一体安装 制造装置 周向转动 轴向方向 前端部 电阻 外齿 开口 伸出 | ||
【主权项】：
1.一种磁控电阻镀膜机可旋转盖体结构，包括罐体，所述罐体开口设置，在开口位置活动安装有一密封盖，在所述罐体上方沿轴向方向一体安装有一推进气缸，该推进气缸的活塞杆端部与密封盖上端固定安装，其特征在于：在所述罐体上方外壁的后端部安装有一旋转装置，该旋转装置通过一连接件与推进气缸的后端部相固定，所述旋转装置可带动推进气缸周向转动，进而带动密封盖与罐体开口发生摆转。
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