[实用新型]粉末净化处理装置有效

专利信息
申请号: 201821563481.7 申请日: 2018-09-25
公开(公告)号: CN209348332U 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 冯五裕 申请(专利权)人: 东服企业股份有限公司
主分类号: B01D50/00 分类号: B01D50/00
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 孙皓晨;李林
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型提供一种粉末净化处理装置,包括在一器壳内规划形成有一第一水洗腔室、一粉末捕捉腔室及一第二水洗腔室,其中该第一水洗腔室具有一导入废气的入口,该第一水洗腔室内配置有一第一喷水器,该粉末捕捉腔室内配置有至少一喷水头与多个捕集环,该第二水洗腔室具有一排放废气的出口,该第二水洗腔室内配置有一第二喷水器,该入口、该第一水洗腔室、该粉末捕捉腔室、该第二水洗腔室以及该出口依序成为导引废气通过的一气体流道;如此,改善半导体废气在经过高温烧结处理的后所生成的微细粉末难以充分捕捉的问题。
搜索关键词: 水洗腔 捕捉腔 净化处理装置 喷水器 室内 废气 配置 半导体废气 本实用新型 高温烧结 排放废气 气体流道 微细粉末 喷水头 捕集 导引 器壳 出口 捕捉 规划
【主权项】:
1.一种粉末净化处理装置,其特征是包括在一器壳内规划形成有提供含藏有粉末的废气通过的:一第一水洗腔室,具有一导入含藏粉末的废气的入口,且该第一水洗腔室内配置有一第一喷水器;一粉末捕捉腔室,内部间隔形成一第一过滤槽及一第二过滤槽,该第一过滤槽及该第二过滤槽之间经由一通道相连通,且该第一过滤槽及该第二过滤槽上方分别配置有一喷水头,该第一过滤槽及该第二过滤槽内还分别摆放有多个捕集环;及一第二水洗腔室,具有一排放净化后废气的出口,且该第二水洗腔室内配置有一第二喷水器,该第二水洗腔室形成于该第一水洗腔室的一侧,使得该粉末捕捉腔室坐落于该第一水洗腔室与该第二水洗腔室之间;其中,该第一过滤槽底部形成有多个连通该第一水洗腔室的第一透气孔,且该第二过滤槽底部形成有多个连通该第二水洗腔室的第二透气孔;该入口、该第一水洗腔室、所述多个第一透气孔、该第一过滤槽、该粉末捕捉腔室、该第二过滤槽、所述多个第二透气孔、该第二水洗腔室以及该出口依序成为导引废气通过的一气体流道。
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