[实用新型]一种管式PECVD电极杆

摘要

本实用新型属于太阳能电池片技术领域，公开了一种管式PECVD电极杆，其包括电极杆本体及电极头，电极杆本体用于连接射频电源，电极头的一端弹性连接于电极杆本体，电极头的另一端设有若干锥状凸起，用于与石墨舟抵接。通过设置电极杆本体及可相对电极杆本体伸缩的电极头，能够在石墨舟由浆推送到电极头处时，电极头随石墨舟弹性移动，避免与石墨舟硬接触而损坏电极头或石墨舟；电极头的端部设置有若干锥状凸起，锥状凸起用于直接与石墨舟抵接，保证了电极头与石墨舟之间有效接触传导，降低电极头在大电流时的损耗，节约成本；同时，使用该管式PECVD电极杆后，石墨舟上无需设置电极孔，因此生产过程中无需区分左右手设备，使用方便。

主权项

1.一种管式PECVD电极杆，其特征在于，包括电极杆本体(1)及电极头(2)，所述电极杆本体(1)用于连接射频电源，所述电极头(2)的一端弹性连接于所述电极杆本体(1)，所述电极头(2)的另一端设有若干锥状凸起(21)，用于与石墨舟抵接。