[实用新型]一种水冷式射频中和器

摘要

本实用新型涉及射频中和器技术领域，具体公开了一种水冷式射频中和器，包括有维持极、隔离块、第一电极组件、第二电极组件、中空电极组件、中和器本体、水冷底盘、进水管、冷却管、出水管以及法兰接口；所述水冷底盘固定在法兰接口上，所述冷却管固定在水冷底盘底部，所述进水管和进水管分别固定连通在冷却管两端，所述中和器本体固定在水冷底盘顶部且通过第二电极组件和中空电极组件电连接，所述维持极通过隔离块固定在中和器本体上且通过第一电极组件与外部电源电连接。本实用新型采用水冷式的冷却方式对中和器本体进行散热，解决了现有技术内射频中和器因采用自然散热方式而导致冷却效率不佳的缺陷，达到延长产品使用寿命的目的。

主权项

1.一种水冷式射频中和器，其特征在于，包括有维持极、隔离块、第一电极组件、第二电极组件、中空电极组件、中和器本体、水冷底盘、进水管、冷却管、出水管以及法兰接口；所述水冷底盘固定在所述法兰接口上；所述水冷底盘的顶部向下凹设有冷却槽，所述中和器本体固定安装在所述冷却槽内，所述维持极通过隔离块固定设置在所述中和器本体上；所述水冷底盘的顶部于冷却槽侧边处向下凹设有电极槽，所述第一电极组件的第一导电端穿过电极槽和中和器本体后与所述维持极的电源端电性连接，所述第一电极组件的第二导电端穿过水冷底盘和法兰接口与外部电源电性连接；所述第二电极组件的第一导电端穿过电极槽与中和器本体的第一电源端电性连接，所述第二电极组件的第二导电端穿过水冷底盘和法兰接口与外部电源电性连接；所述中空电极组件的第一导电端与中和器本体的第二电源端电性连接，所述第二电极组件的第二导电端穿过水冷底盘和法兰接口与外部电源电性连接；所述水冷底盘的底部向上凹设有冷管槽；所述冷却管固定设置在所述冷管槽内，所述进水管固定在冷却管的进水端并与所述冷却管连通，所述进水管固定在冷却管的出水端并与所述冷却管连通。