[实用新型]一种适用于量产的硅片合片装置有效
| 申请号： | 201821589309.9 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN209016079U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 梁小静;刘慎思;陶智华;郑飞 | 申请（专利权）人： | 上海神舟新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 许丽 |
| 地址： | 201112 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于量产的硅片合片装置，其特征在于，包括：工作台（8）、置于工作台（8）上的推片单元、导向单元（3）以及下料单元；所述推片单元包括推片器（6）、置于推片器（6）上的推手（1），上料片篮（2）；所述上料片篮（2）用于放置待合片的硅片，由推片器（6）推入导向单元（3）；所述下料单元包括石英舟（4），用于接收由导向单元（3）传输的硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 导向单元 推片器 合片装置 下料单元 工作台 量产 上料 推片 本实用新型 推手 石英舟 合片 推入 传输 | ||
【主权项】：
1.一种适用于量产的硅片合片装置，其特征在于，包括：工作台(8)、置于工作台(8)上的推片单元、导向单元(3)以及下料单元；所述推片单元包括推片器(6)、置于推片器(6)上的推手(1)，上料片篮(2)；所述上料片篮(2)用于放置待合片的硅片，由推片器(6)推入导向单元(3)；所述下料单元包括石英舟(4)，用于接收由导向单元(3)传输的硅片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
