[实用新型]磁控溅射传输装置有效
| 申请号： | 201821592715.0 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN209113983U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 杨文举 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 胡明强 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种磁控溅射传输装置，其包括导轨、车体、第一绝缘装置和遮挡装置。所述车体沿所述导轨所在方向运动，且所述车体与所述导轨间隔设置。所述第一绝缘装置设置于所述导轨与所述车体之间。所述遮挡装置遮挡所述第一绝缘装置。所述遮挡装置使所述导轨与所述车体之间绝缘。本申请提供的所述磁控溅射运输装置提高了所述第一绝缘装置的绝缘稳定性和可靠性，从而杜绝了放电现象的产生，防止镀膜膜层出现电弧纹现象。 | ||
| 搜索关键词： | 车体 第一绝缘装置 导轨 磁控溅射 遮挡装置 传输装置 电弧 绝缘稳定性 导轨间隔 镀膜膜层 放电现象 运输装置 绝缘 申请 遮挡 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射传输装置(10)，其特征在于，包括：导轨(100)；车体(200)，所述车体(200)沿所述导轨所在方向运动，且所述车体(200)与所述导轨(100)间隔设置；第一绝缘装置(300)，设置于所述导轨(100)与所述车体(200)之间；遮挡装置(400)，遮挡所述第一绝缘装置(300)，所述遮挡装置(400)使所述导轨(100)与所述车体(200)之间绝缘。
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